芯片失效分析中常用的測試設備有哪些
2024-06-19(1456)次瀏覽
顯微鏡:顯微鏡是芯片失效實驗室中基礎的儀器,用於觀察芯片中微小的結構和缺陷。
體式顯微鏡:放大倍率從幾倍到150倍,適用於初步的外觀檢查。
無錫蜜桃APP软件下载(如設備型號LV150N):放大倍率從50倍到1000倍,分辨率達到0.2um,適合觀察芯片中的微裂紋等結構。
掃描電子顯微鏡(SEM):一種非常先進的顯微鏡,可以在納米級別下觀察芯片結構,直接觀察到微觀缺陷、線路斷裂等。
C-SAM(超聲波掃描顯微鏡):用於無損檢查,能夠檢測材料內部的晶格結構、雜質顆粒、裂紋、分層缺陷、空洞等。
X-Ray設備:用於分析水蜜桃视频在线观看免费BGA、線路板等內部位移,判別空焊、虛焊等BGA焊接缺陷。例如德國Fein微焦點X-ray,標準檢測分辨率<500納米,幾何放大倍數達到2000倍,較大放大倍數可達10000倍。
水蜜桃视频在线观看免费參數測試儀和探針台:用於電性能測試,判斷失效現象是否與原始資料相符,分析失效現象可能與哪一部分有關。例如IV曲線測量儀(設備型號CT2-512X4S),較大電壓10V,較大電流100mA。
示波器:能夠顯示電路中隨時間變化的電壓波形,適用於測試芯片的模擬電路和數字電路。
邏輯分析儀:一種常用的數字電路測試工具,通過連接到芯片的引腳,捕捉芯片輸出的數字信號,並轉換成可視化的波形,幫助判斷芯片是否工作正常。
紅外線相機:用於檢測芯片中的溫度變化,幫助測試人員檢測芯片是否存在熱點問題。
聲學顯微鏡:將聲音轉換為光信號,通過觀察芯片表麵上的光反射來檢測芯片中的缺陷。
FIB(聚焦離子束):用於線路修改、切線連線、切點觀測、TEM製樣、精密厚度測量等。
這些測試設備在芯片失效分析中各有側重,可以根據具體需求選擇適合的設備進行分析。同時,隨著技術的不斷發展,新的測試設備和方法也在不斷湧現,為芯片失效分析提供了更多的可能性。
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